太 阳 能 ALD原 子 层 沉 积 是 通 过 将 气 相 前 躯 体 TMA和 H2 0( 或 TMA和 O3 脉 冲 交 替 地 通 入 反 应 腔 室 内 并 在 沉 积 基 体 上 化 学 吸 附 反 应 生成 沉 积 膜 AL2 O3 的 一 种 设 备 ， 主 要 应 用 到 光 伏 PERC、 TOPCON等 新 型工艺上 ， 用于提高太阳能电池片的转换效率。