扩散炉应用于半导体器件 、 分立器件 、 光电子器件 、 电力电子 器 件 、 太 阳 能 电 池 及 大 规 模 集 成 电 路 制 造 等 领 域 对 晶 片 进 行扩 散、 氧化、 退火、 合金及烧结等工艺 ， 可用于2-8英寸工艺尺寸。